Tehnologija strojnega optičnega vakuumskega premazovanja

Stroji za optično vakuumsko nanašanje se pogosto uporabljajo v industriji, kot so kamere mobilnih telefonov, etuiji za mobilne telefone, zasloni mobilnih telefonov, barvni filtri, leče za očala itd. Standard natančnosti je zelo visok in lahko se nanesejo različni premazi, kot je AR antirefleksna folija, dekorativna umetnost. Plastične folije, folije za motorno keramiko, izboljšane odsevne folije, ITO prevodne folije in folije proti obraščanju imajo visok odstotek prodaje na trgu.

Kakšno tehnologijo obdelave uporablja stroj za optično vakuumsko premazovanje za nanos toliko plasti?

Ko stroj za optično vakuumsko nanašanje izhlapi in se kopiči, se izvorne surovine v vakuumskem sistemu segrejejo ali negativni elektroni ionskega žarka izhlapijo. Sumi se, da je para na optični površini. Med obdobjem izhlapevanja je mogoče v skladu z natančno manipulacijo segrevanja, delovnim tlakom vakuumske črpalke ter natančnim pozicioniranjem in vrtenjem substrata izdelati enakomerno optično prevleko s posebno debelino. Izhlapevanje ima razmeroma nežne lastnosti, zaradi česar bo premaz vedno bolj ohlapen ali porozen. Ta vrsta ohlapnega premaza lahko absorbira vodo, kar spremeni razumen lomni količnik filma, kar bo povzročilo zmanjšane lastnosti. Hlapne prevleke je mogoče izboljšati s tehnologijo nanašanja s pomočjo elektronskega žarka, med katero je elektronski žarek usmerjen na površino rezine. To izboljša adsorpcijo relativne optične površinske plasti izvornega materiala, kar ima za posledico veliko količino notranje napetosti, kar spodbuja večjo gostoto in večjo obstojnost prevleke.

Visokoenergetsko elektrostatično polje lahko pospeši elektronski žarek pri magnetronskem razprševanju z elektronskim žarkom (IBS) optičnega vakuumskega premazovalnika. Te trenutne hitrosti inducirajo znatno mehansko energijo v pozitivnih ionih. Ob trku z izvornim materialom elektronski žarek "magnetron razprši" molekule ciljnega materiala. Magnetronsko razpršeni ciljni pozitivni ioni (molekule se pretvorijo v pozitivne ione s hidrolizno cono) imajo tudi mehansko energijo, kar povzroči tesen film ob stiku z optično površino. IBS je natančna in ponovljiva tehnika.

Optični vakuumski premaznik Plazemsko magnetronsko razprševanje je splošen izraz za vrsto tehnologij, kot sta vrhunsko plazemsko magnetronsko razprševanje in magnetronsko razprševanje. Ne glede na to, za kakšno tehnologijo gre, vključuje ustvarjanje plazme. Pozitivni ioni v plazmi se pospešijo v izvorni material, trčijo z ohlapnimi energijskimi pozitivnimi ioni in nato magnetronsko razpršijo celotno ciljno optično komponento. Čeprav imajo različne vrste plazemskega magnetronskega razprševanja svoje edinstvene značilnosti, prednosti in slabosti, lahko to tehnologijo združimo skupaj, ker imata isti princip, razliko med njimi, primerjajte to vrsto tehnologije premazovanja in papir Druge tehnike premazovanja, zajete v se veliko manj razlikujejo med seboj.

Za razliko od nanašanja z izhlapevanjem izvorni material, ki se uporablja za nanašanje molekularne plasti (ALD), ne izhlapi iz tekočine, ampak takoj obstaja v obliki hlapov. Čeprav postopek uporablja paro, so v vakuumskem sistemu še vedno potrebne visoke temperature okolja. V celotnem procesu ALD se prekurzor plinske kromatografije dovaja v skladu z neprepletenim enojnim impulzom, pri čemer je posamezen impulz samoomejen. Ta vrsta obdelave ima edinstveno shemo kemične zasnove, vsak posamezen impulz se oprime samo ene plasti in ni posebnih zahtev glede geometrije optične površinske plasti. Zato nam ta vrsta obdelave omogoča relativno visoko kontrolo debeline in oblikovanja premaza, vendar bo zmanjšala hitrost kopičenja.