Načelo nadzora nad tlakom opreme za vakuumsko prevleko

1. Uvod v ozadje
Oprema za vakuumsko prevleko je nekakšna oprema, ki se pogosto uporablja v industrijski proizvodnji. Njegova glavna funkcija je postaviti material, ki ga je treba prevleči v vakuumsko prevlečno komoro, in z reakcijo pod visoko temperaturo in visoko vakuumsko okolje se filmski sloj enakomerno odloži na površini materiala. in tvorijo določeno plast prevleke s posebnimi funkcijami in značilnostmi. Med njimi sta stopnja vakuuma in stopnja adhezije v opremi pomembni kazalniki, ki vplivajo na kakovost plasti prevleke, stabilnost vakuumske stopnje je odvisna od nadzora tlaka v opremi.
2. načelo nadzora nad tlakom opreme za vakuumsko prevleko
1. Opredelitev vakuumske stopnje
Preden uvedete načelo nadzora nad tlakom, je treba uvesti, kaj je vakuum. V fiziki se vakuum nanaša na plinsko okolje, katerega tlak je manjši od atmosferskega tlaka, zato se stopnja vakuuma nanaša na tlak plina v določenem prostoru. Na splošno se vakuum običajno meri v Pascals (PA) ali metri (MBAR). V opremi za vakuumsko prevleko je običajni razpon vakuuma 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Načelo nadzora tlaka
Ko je vakuum previsok ali prenizko, bo vplival na normalno delovanje opreme. Zato je treba z določeno metodo nadzorovati raven vakuuma v opremi. Med njimi je nadzor tlaka razmeroma preprosta in učinkovita metoda nadzora. Konkretno, načelo nadzora tlaka je uporaba regulatorja tlaka za nadzor hitrosti pretoka plina v opremi z zaznavanjem tlaka nadzorovanega konca in nato z mehanizmom povratnih informacij z nadzorom odpiranja ventila, da bi dosegli namen nadzora nad tlakom.
3. Osnovna sestava tlačnega regulatorja
V opremi za vakuumsko prevleko se za nadzor tlaka običajno uporablja regulator tlaka. Njegova osnovna sestava vključuje štiri dele: senzor za zaznavanje, krmilnik, aktuator in krmilni sistem.
Senzor za zaznavanje: Uporablja se predvsem za zaznavanje spremembe tlaka nadzorovanega konca in pretvorbo v ustrezen izhod električnega signala za uporabo regulatorja.
Krmilnik: V glavnem sprejema izhod električnega signala s senzorjem, procesi in ga analizira ter nato napaja rezultat analize nazaj v aktuator, da nadzoruje stopnjo odpiranja aktuatorja.
Aktuator: V glavnem nadzoruje pretok plina v opremi z nadzorom stopnje odpiranja ventila, da se doseže namen nadzora tlaka.
Krmilni sistem: Uporablja se predvsem za spremljanje in nadzor različnih kazalnikov v opremi, kot so temperatura, stopnja vakuuma itd., In izdelava vrst kontrolnih strategij.
3. Povzetek
Če povzamemo, je načelo nadzora nad tlakom v opremi vakuumske prevleke nadzor tlaka v opremi z razmeroma preprostim in učinkovitemu mehanizmu povratnih informacij. Za vzpostavitev tako stabilnega sistema za nadzor zahteva tehnično podporo različnih vidikov sistema za nadzor opreme, kot so spremljanje parametrov, algoritem nadzora, nadzor aktuatorja, povezava sistema itd. Ti tehnični dejavniki zahtevajo sodelovanje določenega strokovnega in tehničnega osebja, da se zagotovi, da lahko oprema pokaže odlične zmogljivosti.