Vakuumski premazje postopek, ki se uporablja za izdelavo visokokakovostnih materialov s tanko filmi. Tanke filme ustvarja tako, da na površino substrata v vakuumskih pogojih na površino substrata na površino substrata v vakuumu. Ta članek bo podrobno predstavil izvajanje vakuumske prevleke.
Postopek vakuumskega premaza vključuje naslednje korake:
1. izberite pravi substrat in material
Izbira pravega substrata in materiala je prvi korak v vakuumskem premazu. Podlaga je lahko steklena, plastika, kovina ali drugi nanomateriali. Materiali so lahko organski ali anorganski, kot so kovine, polprevodniki, oksidi ali nitridi.
2. Naložite sistem vakuumskega premaza
Drugi korak je nalaganje podlage in materialov v sistem vakuumskega premaza. Sistem vakuumskega premaza vključuje vakuumsko komoro, kovinski uparjalnik, brizganje in krmilni sistem. Vakuumska komora je zaprt prostor, ki se uporablja za vzdrževanje vakuumskega okolja, kovinski uparjalniki in razmiki so naprave, ki se uporabljajo za izhlapevanje ali brizganje na podlagi, krmilni sistem pa se uporablja za spremljanje in prilagajanje vakuumskega okolja in hitrosti izhlapevanja materiala ali brizganja.
3. Vakuum
Po nalaganju materiala in podlage je treba evakuirati vakuumsko komoro. Odvajanje je zelo pomemben korak, saj lahko ohranjanje okolja z nizkim tlakom in visoko čistost zagotavlja kakovost membrane. Vakuumsko okolje je običajno pod 10^-6 mbar, da se izključi molekule plina in drugih onesnaževal.
4. izhlapevanje materiala ali brizganje
Ko vakuumsko okolje doseže želeni tlak, lahko material izhlapimo ali brizgamo na substrat. Obstajata dve metodi izhlapevanja materiala: toplotno izhlapevanje in izhlapevanje elektronov. Spratring ima tudi dve metodi: magnetron brizganje in lok brizganje. Ne glede na to, kakšna metoda se uporablja, je treba nadzorovati izhlapevanje materiala ali hitrost brizganja in debelino filma.
5. Naredite večplastni film
Ko je enoslojna membrana izdelana, lahko več slojev zložite skupaj, da tvori kompozit. Uporabljajo se lahko različni materiali in postopki odlaganja, na primer izmenično nanašanje, sočasna razmestitev z več pištoli in območje.
6. preizkusna kakovost membrane
Končni korak je preizkus kakovosti membrane. Preskusi lahko med drugim vključujejo debelino, fizikalne lastnosti, optične lastnosti in električne lastnosti. Ugotovite, ali membranski material izpolnjuje zahteve glede na rezultate preskusa.
Skratka, tehnologija vakuumskih premazov je metoda za doseganje kakovostnih tankih filmov. Izbrati mora ustrezen substrat in material, naložiti sistem za vakuumsko prevleko, sesariti, material izhlapevati ali brizganje, narediti večplastni film in preizkusiti kakovost filma. Tehnologija vakuumskih premazov se pogosto uporablja na elektroniki, optiki, medicinskih in energetskih področjih.